常壓等離子設(shè)備AP-50X
模塊化設(shè)計,結(jié)構(gòu)緊湊,便于安裝到流水線設(shè)備上
有極好的高速處理效果,處理白玻璃速度約60毫米/秒 (接觸角< 10 °)
常規(guī)處理只需要使用氧氣(氮氣、氬氣用于特殊處理制程)
較低的處理溫度,基片溫度< ~ 40 °C
不存在熱損傷和熱氧化的問題
臭氧釋放量( < ~ 0.001 ppm)
緊湊的模塊化設(shè)計 (長:200, 直徑:50mm)
等離子斑點直徑:5~15mm
較低的等離子處理溫度
基片溫度< ~ 40 °C
主要應(yīng)用: PCB 清潔, ACF/COG, 金屬帶的高分子聚合物涂覆, 平板覆膜清潔。