機臺名稱： 卷對卷式等離子體處理系統(tǒng)
機臺型號： Suncola-RTR2000L-W800H
處理寬幅： 100mm～800mm（可定制）
真空腔：     2000L（可定制）
電源系統(tǒng)： 2KW～10KW等離子體發(fā)生源
控制系統(tǒng)： 觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統(tǒng)： 標配2路工作氣體，可擴展至5路工作氣
                 體（Ar2、N2、H2、CF4、O2）
機臺用途：用于處理PI聚酰亞胺薄膜、FPC柔性線路板的真空卷對卷設備；
設備特點：主要用于處理100～600mm寬幅之材料，材料在真空室內(nèi)部水平處理，上下料簡單，可用于刻蝕工藝。